bruker布鲁克三维光学轮廓仪ContourX-200
三维表面形貌测量传感器IF-Sensor R25
日立白光干涉显微镜VS1800
1,同轴落射的扫描方式,无惧遮挡,满足大视野复杂结构测量
2,微米级精度下,满足最大130mm深度测量
3,三丰标准块下,满足10um台阶测量
4,大行程龙门架改造,满足更大工件测量需求
5,多探头分光设计,超长工作距离下,一次扫描成像
6,外置式装载设计,满足超长距离下,高精度空间定位
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