复享光学发布匹配半导体行业标准的ZURO系列光谱仪

9月5日，上海复享光学股份有限公司（以下简称“复享光学”）宣布，2022年9月，公司通过与头部客户完成了针对刻蚀应用场景的光谱仪—ZURO系列产品的研发与量产导入，为集成电路产业提供了面向6、8、12寸制程刻蚀工艺的光谱检测解决方案。

ZURO系列光谱仪匹配半导体行业标准，满足针对金属刻蚀、单多晶硅刻蚀、化合物刻蚀及高速清洗等多个应用场景需求，具有信号精准、性能长期稳定、Fab生产环境适应等特点。

复享光学已完成ZURO系列产品的国产验证与量产准备，能为客户进行差异化的定制开发，解决头部客户的关键光学零部件供应安全问题。

复享光学提供芯片制程工艺控制中各类光谱模组及量检测解决方案。据悉，目前，复享光学的多系列光谱模组产品已经获得多家半导体头部客户的验证、生产导入及小批量订单。

复享光学于2021年完成超亿元B轮融资，由半导体头部产业基金中芯聚源领投，上海科创集团、中科创星、长江证券、海通证券、泰坦科技跟投。

据了解，近期，复享光学将启动C轮融资，资金用于高端人才扩充、生产场地扩容、研发设备升级，以及微纳制造领域前沿技术布局等战略方向。