芯碁微“一种用于直写式光刻机的安全防护系统及方法”专利公布

天眼查显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司“一种用于直写式光刻机的安全防护系统及方法”专利公布，申请公布日为2024年8月9日，申请公布号为CN118466111A。

背景技术

运动平台一般会在机台腔体内部进行动作，设计人员对运动平台的安全防护意识比较薄弱，如有操作人员在门板打开的情况进行机台内部调试或者操作时不注意，运动平台容易对操作人员造成伤害；并且，如平台因某些杂物入侵导致平台运动出现问题，曝光时未能采取正确的曝光路径，会导致做板批量报废。

平台运动是根据上位机软件进行控制的，若控制模块出现问题或者平台碰到异物时，控制器可立即停止平台运动并把异常信息反馈给上位机，现有技术安全防护方案主要是集中在放板区配置安全光幕，当操作员的手指碰到安全光幕时电动门停止，平台也被上位机软件进行急停操作，在此种防护模式中有几种弊端：平台在安全防护时，更多的是对于驱动器自身问题的急停，如线缆损坏或者驱动器偶发报错，缺少了对于平台的主动急停以及平台急停后的一系列安全防护手段；在平台急停之后，若不登录上位机软件，操作人员不容易得到报警信息，同时延长了排查问题的时间；由于目前是通过软件进行急停以及其他一系列控制的，若发生通讯异常的情况，上位机无法急停平台，可能会导致发生一系列安全事故，需要一套PLC软件联动以及硬件防护的控制措施，来达到机台安全防护的最好效果。

发明内容

本发明公开了一种用于直写式光刻机的安全防护系统及方法，包括触发模块，该触发模块用于感应门板金属产生触发信号；控制模块，该控制模块与触发模块连接，所述触发模块用于接收触发信号并输出平台急停信号；以及平台急停模块，该平台急停模块与控制模块连接，所述平台急停模块用于接收平台急停信号，使运动平台所有的运动部件失去使能；该用于直写式光刻机的安全防护系统及方法，与PLC软件联动，达到机台安全防护的最好效果，解决了现有技术缺少了对于平台的主动急停以及平台急停后的一系列安全防护手段的问题及操作人员不容易得到报警信息，同时延长了排查问题时间的问题。