成套电子束光刻系统

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品牌

Raith

型号

EBPG、VOYAGER、Raith150-two、e_LiNE、Pioneer

产地

欧洲德国

应用领域

暂无
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Raith公司可为您提供革新性的光刻系统和纳米加工平台。专注于电子束光刻技术30年,Raith在微纳米技术领域具有丰富的经验。对于光刻和纳米技术方面的问题,Raith将非常乐意为您提供专业的技术支持和工艺应用咨询服务。


EBPG电子束光刻系统可处理200mm的大硅片。它采用了专业的通用设计标准,系统自动化程度高、工作效率高,可满足众多需求,可用于半导体器件的加工和模板制作,同时也是大型实验中心的首选。

高端电子束光刻系统EBPG系列

VOYAGER电子束光刻系统的问世标志着Raith新一代电子束直写技术的产生。它的革新性的设计和性能指标,所追求的目标是:优良的结果,高速度和低成本。

VOYAGER新一代电子束光刻系统

RAITH150 Two是Raith自动化程度很高的直写系统,用于进行长时间和大面积曝光。它是纳米技术研究中心和实验室的理想工具。

RAITH150 Two 电子束光刻机

eLINE Plus是一台灵活的电子束曝光和纳米工程平台,适用于大学研究所的多学科研究的特殊需求。

eLINE Plus灵活的电子束曝光和纳米工程平台

PIONEER适合大学研究所的既需要高分辨电子束曝光,也需要高倍成像的要求。

PIONEER


traxxperiodixx可实现零拼接曝光,用于直写长路径波导或类似光子晶体的重复性图案,没有任何拼接误差。


TwinLITH –一种全新的概念。Raith提供电子束和离子束曝光系统,相同的硬件和软件平台,两套系统并行工作将更有效率,纳米加工任务圆满完成。

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