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主要特点：
1) 全新的触摸式扫描电子显微镜
2)多变的操作模式
3)节省空间的设计
4)高性能，高配置，延续了JEOL扫描电子显微镜的图象质量，标配低真空系统和电制冷能谱仪，能够满足用户各种操作需求。
5)维护简单
技术参数：
二次电子像分辨率：3 nm (30 kV, 高真空)8 nm (3 kV, 高真空)15 nm (1 kV, 高真空)
背散射电子像分辨率：4.0 nm (30 kV,高真空/低真空)
加速电压：0.5 to 30kV
放大倍数：8x to 300,000x
低真空范围：10-100 Pa
EDS分析： WD 10 mm, 取出角 35度 标配电制冷能谱仪 (133 eV)
电子枪 ： 工厂预对中灯丝
电子枪偏压： 无缝式自偏压
低真空范围：10-100 Pa
聚光镜（日本电子专利）：可变焦聚光镜
物镜： 超级圆锥形物镜
物镜光阑： 1段式可动(带XY轴微调)
像散存储器 ： 内置
图像移动：±50μm（WD 10 mm）
探测器 ：二次电子探测器， 高灵敏度半导体型背散射电子探测器，低真空二次电子探测器 (选购)。
自动枪对中：内置
自动聚焦：内置
自动灯丝加热：内置
自动消像散：内置
自动亮度和对比度调整：内置
最大样品尺寸：152mm（直径）
可支持的选购附件：EDS
样品室：X=80mm，Y=40mm，Z=5到48mm，倾斜：-10 - +90度，旋转：360度
最大视野范围:127mm（直径）
最大样品高度:53 mm
马达驱动:2轴马达驱动（选配）
图像存储像素:640x480, 1280x960, 2560x1920 pixels
图像显示像素:1 frame: 1280x 960 2 frames: 640x480; 4 frames: 320x240EG
图像保存格式:Format: BMP, TIFF, JP
平行线间距测量:垂直,水平,对角
2点之间距离测量:任意2点间距离
圆的测量:直径,2个圆中心间距离
角度测量:角度
面积测量:圆和多角形
计数:颗粒计数
分子泵:420升/秒
机械泵:100升/秒
- 相关资料
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扫描电镜JSM 6010LA仪器英文样本2011-05-09
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