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日本电子JSM-7610F热场发射扫描电子显微镜

报价 ¥250万 - 300万

品牌

日本电子

型号

JSM-7610F

产地

亚洲日本

应用领域

暂无
该产品已下架

冷场发射

1.3nm (1KV);1nm(15KV)

25-1000000

0.1-30KV

分辨率: 1.3 nm(1 kV)(在GB 模式下),1.0 nm(15 kV)
放大倍数: 25 到 1,000,000x
加速电压: 0.1 到 30 kV
束流: 1 pA 到 200 nA(15 kV时)
光阑角控制镜: 内置
探测器: 上方和下方探测器
能量过滤器: 新型γ过滤器
柔和光束: 内置
数字图像: 1,280 x 960,2,560 x 1,920, 5,120 x 3,840
样品交换室: 单步加载/卸载
样品台: 全对中,5轴马达驱动
X-Y: 70 mm x 50 mm(IA) 110 mm x 80 mm(II) 140 mm x 80 mm(III)
倾斜: -5 到 +70°
旋转: 360°
工作距离: 1.5 mm 到 25 mm
真空系统: 2 SIPs,磁悬浮轴承 TMP、RP
节能设计: 正常运行:1.2 kVA 休眠模式:1 kVA
操作系统关闭(OFF):0.76 kVA

l  超高分辨像的,最大放大倍数1百万倍

最新开励磁物极靴设计JSM-7610F的象差小,像分辨率高,特是在低加速电压下仍保持很高的分辨率,适合于材料表面的高分辨察,分辨率指如下:

            1.0nm (二次,加速电压15kV)

            1.3nm (二次,加速电压1kV)突出的低分辨率

l  分子:真空系统洁净,抽气速度快,维护简单

l  轴马品台准控制使用极方便。

l  品室:利用JSM-7610F准配置,即可行直径最大150mm品的察;大部分操作通即可实现

l  能量过滤器:可以按任意比例混合二次子和背散射像。

l  圆锥热场发子束虚漂移小,改加述电压无需手动调节虚漂移点。

l  最佳光角控制透 ,束流大小完全由算机自控制。

l  离子源支持:后最可以14天,池更每年只需200元以内。

l  良好的可操作性:控制界面设计非常友好,使用极便利。

l  多通道示:最多可以选择四种像同时显示,高位二次子像,低位二次子像,背散射成像和背散射拓扑像。

l  定的GB模式:准配置。可以有效抑制充和提高点电压下的分辨率

l  微区的成份分析几何尺寸好:配合能谱仪EDS)分析工作距离只有8mm 取出角35度,数率是其他厂家的一倍。

l  射体寿命: 由于采用In-Lens,我的束流度可以达到200nA,其他厂家只能做到20nA.在做成分分析,或搭EBSDWDS,分析速度和果的精确度远远高于他。采用了In-Lens和完美的气锁换样,我射体3年,用一般使用在6年以上.

 

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