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INCA WAVE波谱仪是SEM中很少采用与EPMA相同的全聚焦几何设计的波谱仪。这意味着分辨率提高了2倍，测量更加稳定且可重复。
WAVE是一种以其工程精度和质量而闻名的全聚焦光谱仪。WAVE光谱仪的内部组件(晶体、探测器和测角仪)以高精度完全协调运行，以保持正确的衍射条件，且测量是可重复的。
WAVE光谱仪的安装有水平倾斜的Rowland圆，因此样品的垂直定位精度并不重要。这使得所有用户都可以轻松采集重复性的结果。它不需要光学显微镜来设定（平行束波谱仪需要）
光谱分辨率低至2eV，可轻松区分密集的x射线
出色的检出限，许多元素的检测下限小于100ppm
标准能量范围高达10.8 kev(可选15keV)
采用XPP基体校正算法进行准确的定量分析
已经超过25年的发展完善，可靠牢固的机械设计
可成功安装在常规，低真空，环扫，场发射等多种SEM上
已通过验证，适用于多种类型的样品，包括使用低束流(<5nA)条件下轻元素和高空间分辨率检测
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