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WLI Infra干涉仪
德国BMT WLI Infra干涉仪是用于硅薄膜的厚度测量设备。仪器适用于实验室、车间和生产线上的质量管理。测量头提供空前的重复性，设计坚固紧凑、免维护，适用于在线测量。
产品特点：
MEMS、硅梁、透明薄材料的非接触高精度厚度测量；
纳米级分辨率；
手动或自动测量步骤设计，简单易用；
不受温度变化和热效应的影响；
极佳的重复性；
可配备表面轮廓测量。
技术参数：
厚度分辨率（nm） <1
探针大小 （μm） 约150（可定制）
厚度范围 （μm） 0.1-600
仪器尺寸 （mm） 320x320x380
重量 （kg） 120
晶圆夹具 定制，可达30cm
全自动测量
标准或定制的软件包
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