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白光干涉测量系统沿着垂直轴向捕获光强数据，通过白光干涉图的形状，局部相位或者两者结合确定表面位置
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Vertical Resolution 垂直分辨率 |
0.1nm 0.1nm |
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Turret 转轮 |
upto 6 objective turret (manual or automatic) 6镜头转轮（自动或手动） |
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Scan Range 扫描范围 |
Up to 150mm x 150mm 最高达150mmx150mm |
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Sample thickness 试样厚度 |
upto 100mm 最高达100mm |
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FOV 视场 |
upto 10mm 最高达10mm |
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Objectives 物镜 |
10x,50x 10倍，50倍 |
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Z focussing range Z轴方向聚焦范围 |
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Scanning area 扫描区域 |
150x150mm 150x150mm |
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Tilt 倾斜角 |
+/- 7 degree +/-7度 |
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Rotation (theta) 平台旋转范围 |
360 Degree 360度 |
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Pixel 像素 |
Standard 1024 x 1024 标准1024x1024 |
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