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ATLEX-1000-I高重频准分子激光器
--High frequency excimer laser
高重复频率（可达1000Hz）
全新技术的金属陶瓷腔
超快电晕预电离技术
采用固态开关，工作寿命长
激光腔体<3L
全部风冷，温度控制
方便清洗的光学镜架
内部集成4个电磁阀，方便气体处理
系统集成RS485，RS232，USB和FOC接口
能量稳定模式
符合欧洲CE标准，RoHS认证
--High frequency excimer laser
高重复频率（可达1000Hz）
全新技术的金属陶瓷腔
超快电晕预电离技术
采用固态开关，工作寿命长
激光腔体<3L
全部风冷，温度控制
方便清洗的光学镜架
内部集成4个电磁阀，方便气体处理
系统集成RS485，RS232，USB和FOC接口
能量稳定模式
符合欧洲CE标准，RoHS认证
| 气体介质 | KrF | XeCl | 单位 |
| 波长 | 248 | 308 | Nm |
| 最大脉冲能量 | 15 | 8 | mJ |
| 最大平均功率 | 8 | 10 | W |
| 最大重复频率 | 1000 | Hz | |
| 脉冲宽度 | 5-8 | ns | |
| 光束直径(VxH) | 4x6 | mm | |
| 光束发散角(VxH) | 1x2 | mrad | |
| 能量稳定性 | <3 | % | |
| 冷却方式 | 风冷 | ||
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