进口等离子体表面处理仪
13.56Hz
0-300W
直径211mm*300mm
10L
进口石英
2
自动
主要用于以下领域:
小批量生产
分析 (REM, TEM)
医疗技术
灭菌
研究和开发部门
考古
纺织技术
塑料技术
概况介绍 Atto
技术参数: Plasma Cleaner Atto 配有手动控制系统
外壳:
宽 425 mm、高 275 mm、深 450 mm
腔室:
玻璃材质、? 211 mm、长 300 mm
腔室容积:
约 10.5 升
气源:
2 个由针型阀控制的气体通道
发生器:
40 kHz/200 W 或者 13.56 MHz/50 W 固定搭配
真空泵:
抽吸性能: 2 m3/h
部件支架:
1 个产品支架
控制系统:
手动型、通过模拟计时器测定工艺时间
外壳:
宽 525 mm、高 275 mm、深 450 mm
腔室:
玻璃材质、? 211 mm、长 300 mm
腔室容积:
约 10.5 升
气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道
发生器:
40 kHz / 200 W 或者 13.56 MHz / 50 W 固定搭配
真空泵:
抽吸性能: 2 m3/h
部件支架:
1 个产品支架
控制系统:
PC-控制系统 (Microsoft Windows XP)
外壳:
宽 525 mm、高 275 mm、深 450 mm
腔室:
玻璃材质、? 211 mm、长 300 mm
腔室容积:
约 10.5 升
气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道
发生器:
40 kHz/200 W 或者 13.56 MHz/50 W 固定搭配
真空泵:
抽吸性能: 2 m3/h
部件支架:
1 个产品支架
控制系统:
PC-控制系统 (Microsoft Windows XP)
外壳:
宽 525 mm、高 275 mm、深 450 mm
腔室:
玻璃材质、? 211 mm、长 300 mm
腔室容积:
约 10.5 升
气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道
发生器:
40 kHz / 200 W 或者 13.56 MHz / 50 W 固定搭配
真空泵:
抽吸性能: 2 m3/h
部件支架:
1 个产品支架
控制系统:
PC-控制系统 (Microsoft Windows CE)
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