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进口等离子体表面处理仪
2.54Hz
300W
根据客户定制规格
根据客户定制规格
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根据客户定制规格
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Tetra 100 等离子系统主要应用于以下领域：
分析 (REM, TEM)
考古
汽车行业
生物技术
弹性体技术
电子技术
电子显微镜
精密工程
研究和开发
半导体技术
小批量生产
塑料技术
医疗技术
微系统技术
太阳能电池技术
纺织技术
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概况介绍 TETRA 100
基本设备
根据具体组件/选装件，外壳规格会有所不同
腔室容积：根据具体版本，分为 80 - 100 升
供电电源： 230 V 或者 400 V / 3 相位
气源
质量流量控制器 (MFCs)
真空腔室
圆形不锈钢件，配有铰链的门
（约 ? 400 mm、长 625 mm）矩形不锈钢件，配有铰链的门
（约宽 400 mm x 高 400 mm x 深 625 mm）
装载件
产品支架（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃
电极
单层或多层
具有气体喷淋的 RIE 电极
控制系统
PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)
PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
压力测量
Pirani
Baratron（适用于腐蚀性气体版本）
计时器
数字型
发生器
| 频率： | 40 kHz: 功率 0 - 1000 W；0 - 1500 W；0 - 2500 W |
| 13.56 MHz: 功率 0 - 300 W；0 - 600 W；0 - 1000 W | |
| 2.45 GHz: 功率 0 - 1200 W |
所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型
真空泵
规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要）
其他选项
备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。
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