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diener Bell Jar 35 等离子清洗机

报价 ¥10万

品牌

Diener

型号

Bell Jar 35

产地

欧洲德国

应用领域

暂无
该产品已下架

进口等离子体表面处理仪

2.54Hz

300W

根据客户定制规格

根据客户定制规格

根据客户定制规格

根据客户定制规格

全自动

基本设备

  • 外壳约宽 560 mm x 高 1640 mm x 深 620 mm

  • 腔室容积:约 35 升

  • 供电电源: 230 V / 16 A

气源

  • 3 个质量流量控制器 (MFCs)

真空腔室

  • 硼硅玻璃材质的玻璃罩
    ? 315 mm x 高 500 mm

溅射源

  • 1 个溅射源 2" - 3" + 挡板
    (可为反应过程选配排烟管和进气口)

基材支架

  • ? 140 mm (可选择旋转型、基材加热器、基材冷却装置)

  • 可切换为等离子体预处理的电极(清洗、活化、蚀刻)

控制系统

  • PCCE 控制系统 (Microsoft Windows XPe)

压力测量

  • Pirani

发生器

频率: 40 kHz: 功率 0 - 500 W

13.56 MHz: 功率 0 - 300 W

直流偏置电源或单极性脉冲

最大功率 300 W
最大电压 600 V,直流电

发生器为 0 - 100% 无级可调型

真空泵

  • 规格和制造商均各有不同(按照活性炭过滤器的需要)

其他选项

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项。


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