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进口等离子体表面处理仪
2.54Hz
300W
根据客户定制规格
根据客户定制规格
根据客户定制规格
根据客户定制规格
全自动
基本设备
外壳约宽 560 mm x 高 1640 mm x 深 620 mm
腔室容积：约 35 升
供电电源： 230 V / 16 A
气源
3 个质量流量控制器 (MFCs)
真空腔室
硼硅玻璃材质的玻璃罩
? 315 mm x 高 500 mm
溅射源
1 个溅射源 2" - 3" + 挡板
（可为反应过程选配排烟管和进气口）
基材支架
? 140 mm （可选择旋转型、基材加热器、基材冷却装置）
可切换为等离子体预处理的电极（清洗、活化、蚀刻）
控制系统
PCCE 控制系统 (Microsoft Windows XPe)
压力测量
Pirani
发生器
| 频率： | 40 kHz: 功率 0 - 500 W |
| 13.56 MHz: 功率 0 - 300 W |
直流偏置电源或单极性脉冲
最大功率 300 W
最大电压 600 V，直流电
发生器为 0 - 100% 无级可调型
真空泵
规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要）
其他选项
备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。
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