仪器对比
关注
主要用于以下领域：
小批量生产
分析 (REM, TEM)
医疗技术
灭菌
研究和开发部门
考古
纺织技术
塑料技术
概况介绍 Zepto
基本设备
根据具体组件/选装件，外壳规格会有所不同
腔室容积：根据具体版本，分为 1.7 - 2.6 升
供电电源： 230 V
气源
针型阀
质量流量控制器 (MFCs)
真空腔室
圆形石英玻璃 (UHP)，配有盖子
（大约 ? 105 mm, 长 200 mm 或者长 300 mm）圆形硼硅玻璃 (UHP)，配有盖子
（大约 ? 105 mm, 长 200 mm 或者长 300 mm）
装载件
产品支架： 铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃
电极
单层或多层
控制系统
手动型
PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE)
PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
压力测量
Pirani
计时器
数字型
发生器
| 频率： | 40 kHz: 功率 0 - 100 W |
| 13.56 MHz: 功率 0 - 50 W |
真空泵
规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要）
其他选项
备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、 Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。
- 相关资料
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等离子清洗电镜专用☆2015-07-22
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等离子设备
2015-07-22
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