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钨灯丝
进口
4nm@30kv
10X-300,000X
200V-30KV
5nm@30kv
Veritas-300大型样品仓扫描电镜属于Emcrafts第二代钨丝枪扫描电镜系列
Veritas-300大样品仓扫描电镜是全数字化控制，专业级电子显微成像分析仪器。采用大型立方体样品分析室（分析室可定制），全内置五轴优中心自动样品台，为大块样品如零部件整体检测，为微纳米尺度操作工具之拓展分析提供多种可能。
技术特征：
● 全数字专业级、拓展能力极强的大型样品仓扫描电镜
● 高分辨成像能力，满足微米亚微米尺度形貌及化学成分衬度快速表征；
● 五轴全自动优中心样品台，原位观察，大批量分析测试，高效率；
● 一体化设计，可随时移动。
实时灰度直方图显示，高信噪比高分辨快速成像
软件特征：
安装示意
性能指标：
型号 | Veritas-300 |
样品台 | 五轴优中心，计算导航，五轴全自动控制 X: 120mm Y: 120mm Z: 5-65mm R: 360°无限 T: -20°~90° |
电子枪 | 预对中钨灯丝 三极自动偏压 |
加速电压 | 200V-30KV （发射电流190μA @ 30KV/电子枪功率：5.7W) |
探测器 | ET-SED |
物镜光阑 | 20μm 20μm 50μm 100μm 四位可变光阑 |
分辨率 | 4nm @30KV ( SEI) |
放大倍数 | 10-300,000 X |
样品室 | 内部尺寸 230（W）x210（D）x260（H)mm ，Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等探测器接口 |
样品尺寸 | Φ210mm X 65mm |
工作距离 | 0-65mm |
扫描光栅运动 | 电位移 ±50μm， 电旋转 0-360° |
扫描模式 | 聚焦模式：320X240 像素 ，尺寸可变 TV模式：800x 600像素 慢扫描模式，用于TV及聚焦模式。 照相模式：800X600、960X720、1024x768、1600x1200、3200x2400像素 动态聚焦，倾斜补偿，自动照相 |
图像格式 | JPG、TIFF、bmp、PNG |
真空模式 | 高真空优于9x10-3Pa |
真空系统 | 全自动真空系统，真空高压连锁安全保护（高真空时间小于3分钟） -涡轮分子泵 |
自动功能 | 亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和，物镜光阑摇摆对中，自动照相，大图拼接缝合 |
软件系统 | 基于Win8，Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。鼠标键盘操作。 |
主机尺寸/重量 | 800(W）x825（D）x 1500（H）mm /200kg |
电源 | 单相交流 220V 、50Hz、1KW |
耗材附件 | 预对中灯丝，样品托，碳导电胶带，导电银胶，专用工具 |
可选配置 | 四象限BSED | 样品室摄像机 | 升级LaB6/CeB6阴极 | 3D重构成像软件 | 拉曼光谱 | EDS能谱仪 | WDS波谱仪 | EBSD 电子背散射衍射 | CL 阴极荧光 |电子束曝光装置 |
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