DESK-V进口小型离子溅射仪

报价 $1.9万

品牌

暂无

型号

DESK-V

产地

美洲美国

应用领域

暂无
荣誉勋章
2016年入围优秀新品

进口

Au,GOLD/PALLADIUM

φ50mmX0.1mm

自动/手动

φ150mm X 150mm(H)

φ50mm

空气、氩气、氮气

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EMCRAFTS第二代钨丝枪系列扫描电子显微镜,在电子显微成像或分析过程中,样品观测表面保持零电位至关重要。和其他品牌扫描电镜一样,针对绝大多数非导电样品,需要进行样品导电处理,电子显微成像一般溅射镀金属膜层,电子显微分析一般蒸发碳膜,离子溅射仪对于绝缘样品制备广泛使用。



  DESK-V型小型离子溅射仪,是一款高级直流磁控溅射导电膜制备小型实验装置,广泛用于钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜样品制备、电极制备等导电膜镀膜实验,采用专利的阳极保护栅网,实现镀膜过程中样品表面保持常温状态,是没有热损伤的冷溅射平台。该溅射仪可以反转直流高压电极,具有等离子清洗刻蚀功能,允许充分曝露材料表层以下清晰组织结构,获得高质量样品制备。也可选配碳蒸发附件,更好满足作为EDS或EBSD等附件分析导电膜制备要求。
deskv.png


主要功能:

1、离子溅射镀膜

2、样品等离子刻蚀清洗

3、蒸碳镀膜附件选购


主要特点:

1、大的溅射样品室,获得更稳定的真空环境,磁控溅射模式,镀膜质量更高。

2、对样品无热损伤的冷溅射。
          采用专利的阳极保护栅网,实现镀膜过程中样品表面保持常温状态,

3、样品等离子刻蚀功能,一个手动控制挡板降低样片在刻蚀过程中受到的污染。

4、基于PLC的强大控制系统,全部触摸屏操作,可手动、半自动控制、全自动控制。

5、具有高压真空互锁安全机制

6、标准的操作软件,实时监控各部件状态,方便技术支持,节约用户费用。


性能指标:


      标准配置

样品室:    φ150mm X 150mm(H) 耐热玻璃真空室

靶:        金GOLD或金钯合金GOLD/PALLADIUM(随机)φ50mmX0.1mm

样品台:    φ50mm 旋转样品台

溅射电流:  0-100mA

真空规:    皮拉尼

溅射气体:  空气或氩气

真空泵:    85L/Min 机械泵


选配

膜厚监控:   石英晶体膜厚监控器

样品台:     φ75mm 旋转样品台

           φ100mm旋转样品台(选此台,膜厚监控器无法安装)

           旋转倾斜样品台 (选择此台,无法实现样品刻蚀功能)

蒸碳附件:   碳棒或碳丝绳


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