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德国POLOS POLOS 为半导体和生命科学行业提供高端设备,特别是针对支持;大学、研发机构和小型生产设施。POLOS 成立于 2003 年,是我们第一条单晶片旋涂系统产品线的开始。截至今天,这些系统已在全球售出 4000 多套。 |
技术参数特点:
POLOS专为研发和小批量生产而设计。空气动力学效率高的腔室可提高均匀性,而天然聚丙烯或 PTFE 结构可确保无金属、无污染且易于清洁的工艺区域。
适用于镀膜、清洗、冲洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI等工艺
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型号 |
SPIN150i |
SPIN200i |
POLOS300 |
POLOS450 |
POLOS600 |
基片范围 |
直径160mm 或者 4英寸方片 |
直径260mm 或者 6英寸方片 |
直径360mm 或者 8英寸方片 |
直径 460mm 或者 12英寸方片 |
直径600mm 或者 超大方片 |
程序段数 |
无限制 |
无限制 |
无限制 |
无限制 |
30个程序 |
操作步数 |
90个步骤 |
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旋转速度 |
0-12,000 rpm ±1rpm steps |
0-1500rpm ±1rpm steps |
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旋转精度 |
±0.1 rpm |
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旋转方向 |
顺时针、逆时针、交换摆 |
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加速度 |
30,000 rpm/sec |
≤1500rpm时取决于负载 |
500 rpm/sec |
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旋转时间 |
无限制*,± 0.1 seconds steps |
1 to 999 sec/step |
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腔体直径 |
202 mm |
302 mm |
402 mm |
502 mm |
642mm |
触屏控制 |
全彩触屏控制 |
全彩触屏控制 |
全彩触屏控制 |
全彩触屏控制 |
全彩触屏控制 |
用户单位 | 采购时间 |
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天津大学 | 2022-03-18 |
上海交通大学 | 2014-05-25 |
中国电子科技大 | 2014-08-25 |
北京大学 | 2014-06-25 |
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