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单轴压电扫描台/纳米平移台
所属类别： ? 精密定位系统/平移台/扫描系统 ? 压电精密定位系统
产品简介
AU-NPS-X系列纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。全行程采用电容位移传感器闭环反馈设计，精度可达到亚纳米量级。结合数字闭环控制器，纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。
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AU-NPS-X系列纳米定位工作台最初的设计是为了满足超快速度和超精密的应用。纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。 全行程采用电容位移传感器闭环反馈控制系统设计，电容位移传感器是将位移变化转换为电容电量信号的变化。电容位移传感器简单易用，而且拥有极高的精度，可达到亚纳米量级。结合数字闭环控制器，纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。低的移动质量和高的刚度结合可以提供非常高的带宽。 对于大行程的纳米定位台，采用目前业内最尖端的双传感技术与以往相比可以提供更快的响应速度，提高有效载荷出现变化时的稳定性和更高的带宽。这项突破性的技术能够应用于各种袖珍模拟和数字控制器，其操作简便，为用户提供顶尖性能。 上海昊量光电设备有限公司的一维纳米定位工作台主要包含以下几款产品：
AU-NPS-X-5A是一款已推出全球市面上体积最小的闭环一微亚纳米级别的微动台。体积只有23 x 16.5 x 7.6 mm（长′宽′高）。应用电容位移传感器，位移分辨率达到亚纳米级别。空载下的自振频率更是高达8000HZ。采用铝合金材质，其拥有较轻的质量和高的刚度，使其有高的带宽，在最大负载的情况下响应时间可达到亚毫秒级别。
AU-NPS-X-10A是一款超快的一维亚纳米微动台，用于高速的、超精密的应用。该设备在空载下的自振频率高达9500HZ。在7g负载的情况下仍可达到8700HZ。并且该产品具有良好的位置重复性。拥有良好的响应速度，响应时间达到毫秒量级。并且该款产品可按照不同需求进行工业定制。
③超大行程的一维纳米微动台 AU-NPS-X-500A采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其具有较紧凑的体积，使用电容传感器，在整个行程中分辨率精度可高达亚纳米级别。使用双传感设计，可提供更快的阶跃响应，提高有效载荷出现变化时的稳定性，并拥有更大的带宽，使其拥有更快的响应时间。 ④高负载大推力一维亚纳米微动台
AU-NPS-X-30B是一款高负载的微动台，最高负载可高达10kg。其拥有极宽的带宽高达1KHZ。空载下的自振频率更是高达5000HZ。
除了以上几款产品AU-NPS-X-15A/15D这两款亚纳米一维微动台也拥有优异的性能。外加负载可高达5kg。拥有较高的带宽，在50g负载的情况下，响应时间可达毫秒量级。AU-NPS-X-15D和AU-NPS-X-15A属于相同型号，但是具有更高的高度（15.5mm），因此拥有更高的刚度，因此具有较宽的带宽、较低的稳定时间和较高的自振频率。
u 主要特点 l 亚纳米的分辨率 l 高的带宽 l 高速响应 l 高的可靠性 l 结构紧凑 l 压电陶瓷驱动 l 柔性铰链设计 l 电容位移传感器闭环反馈
u 主要应用 磁头和磁盘驱动测试、计量学、干涉度量学、原子力显微镜等
型号 参数 AU-NPS-X-5A AU-NPS-X-15A AU-NPS-X-15D AU-NPS-X-500A AU-NPS-X-30B AU-OEM-X-10A Material Aluminium Stainless steel 316 Stainless steel 316 Titanium & Aluminium Alloy Titanium Titanium Size 23 long x 16.5 wide x 7.6 high 60 long x 40 wide x 13.5 high 60 long x 40 wide x 15.5 high 60 x 60 x 20 60 long x 40 wide x 15.5 high 62 long x 40 wide x 22 high Range (mm) Minimum ± 7.5 ± 7.5 500 ± 15 ± 5 Typical 6.5 ± 8 ± 8 ± 6 Maximum Resonant frequency: 0g load Minimum 3000 HZ 3500 HZ 260 HZ 4500 HZ Typical 8000 HZ 5000 HZ 9500 HZ Maximum Resolution sub-nanometer 1 nm sub-nanometer Maximum load 5 g 5 kg 5 kg 1 kg 10 kg 0.2 kg Position noise(1σ ) /nmrms Fast 0.2 0.2 0.12 0.05 Medium 0.1 0.1 0.1 0.09 0.07 Slow 0.05 0.05 0.04 0.1 Linearity error (peak)/% Minimum Typical 0.1 0.01 0.01 0.02 0.01 0.01 Maximum 0.2 0.02 0.02 0.02 0.02
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