报价 ¥50万 - 100万
进口
0 - 40°
100 - 2000 eV
Technoorg Linda 立达由台肯科学仪器独家代理全中国地区!
立达IV8 TEM(透射)低能量离子减薄仪(Gentle Mill GM3)
特色
1. Gentle Mill:采用先进的热阴极低能量离子源
2. 计算机式操作具有独特的专利技术
3. 对样品无损坏并可将离子束诱导的无定形物减至最小限度
4. 可用于最终抛光, 很容易对先前在标准高能离子减薄仪上或FIB上处理过的样品进行清洁及改善性
能。
5. 适用于XTEM(截面透射电镜)、HRTEM(高分辨透射电镜)或STEM(扫描透射电镜之样品制备。
实际应用
技术参数:
离子能量:100 - 2000 eV,连续可调
离子电流密度:最大10 mA/cm2
离子束电流:7 - 90 uA,连续可调
离子束直径:750 - 1200 um (FWHM)
减薄速率:2000 eV离子能量及30度离子束入射角时,c-Si上的减薄速率为28 um/h
减薄角度:0 - 45°,电子调节步长为0.1°
计算机控制样品平面旋转摇摆(0- 120°角度范围,电子调节步长为10°)
出众的厚度范围:涵盖TEM样品厚度(30 - 200 um)
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