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随着半导体变得越来越小和越来越复杂，有必要更密切地监控和控制生产，特别是在该过程的更上游。使用MicroXact的半自动探针台进行的晶圆级可靠性测试通过一系列压力测试收集数据，以识别可能影响器件长期可靠性的不规则性。尽管并非总是需要，但在晶片级可靠性测试之后可以进行进一步的和广泛的故障分析。
系统构建在一个重型，通用的平台上，能够配置为处理各种探测应用。
电动XY夹头，SPS-2600中的电动压板，SPS 2800中卡盘的电动Z轴运动，标准配置。Motorized theta是一种选择。
基于伺服电机的直线光栅尺。
极具成本竞争力，非常快速，高效的解决方案
强烈推荐用于中等规模生产或其他吞吐量很重要的应用
型号 | SPS-12000-HS | SPS-2800-HS | SPS-2600-HS |
晶圆尺寸 | 高达300mm | 高达200mm | 高达100mm |
电机类型 | 伺服电机 | ||
显微镜 | 高品质立体声变焦，工作距离可达200mm，放大倍率范围为3.5X至180X | ||
馈通终端 | BNC，Triax或香蕉插头 | ||
系统尺寸 | 101CM宽x91CM深x 88CM高 | 122CM宽x122CM深x 92CM高 | 78CM宽x80CM深x 58CM高 |
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