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MTM-10 ＆MTM-20 高分辨率薄膜厚度监视器
仅适用于Cressington Sputter和Carbon Coaters
高分辨率厚度监视器和厚度控制器基于以下原理：石英晶体的振荡频率由其上表面上的沉积膜的质量改变。电子测量该效果允许确定沉积膜的厚度。一旦将蒸发的材料的密度输入系统，就在范围为0-999.9纳米的四位LED显示器上测量厚度为0.1nm的分辨率。
MTM-10高分辨率厚度监视器
确保厚度控制的经济方法
如果不是不可能的话，在沉积期间精确地手动控制膜厚度是困难的。有时使用带有一滴油的白色瓷砖来粗略估计碳的涂层厚度，但是当需要重复的，可再现的涂层时不能使用。使用仪器设置也不是一种准确的方法，因为真空水平（用于溅射）和时间（用于蒸发）是非常关键的参数。高分辨率厚度监视器提供涂层厚度的可重复性，消除猜测并且方便。使用加工因子可以精确测量薄膜。
MTM-10高分辨率厚度监测仪适用于任何Cressington溅射和碳涂层系统。系统包括：
MTM-10控制器盒
BNC电缆/ BNC弯头
振荡器盒
CS-108真空馈通，带BNC / SMB连接器和集成O形密封圈
水晶支架电缆7“/ 108mm
水晶支架，M4螺钉尺寸?19x20mm高。水晶面积?6mm
MTM-20高分辨率厚度控制器
MTM-20高分辨率厚度控制器专为Cressington溅射涂布机系统设计，与108auto，108auto / SE和208HR溅射涂布机系统完全兼容。
MTM-10高分辨率厚度监视器和 MTM-20高分辨厚度监视器规格 | |
| 一般规格： | 基于微处理器的4位数显示，按钮为零6MHz晶振，带有寿命检查 每秒5次更新率 |
| 厚度范围： | 0 999.9nm（POS / NEG） |
| 解析度： | 0.1nm用于金或碳 |
| 密度范围： | 30.00g / CC 0.50 |
| 工具系数范围： | 0.25 - 8.0 |
| 真空馈通： | CS 108；直径10mm，板材/法兰厚度为9mm。 |
| 水晶架： | 不锈钢?19x20mm。M4螺纹孔，用于安装，1/2“尺寸的晶体 |
| 水晶架电缆： | Mini-SMB，母/母之间的水晶支架和CS-108真空穿通装置 |
| 处理器功能： | 对于MTM-10和MTM20，四组值可以存储在密度下的存储器中，四组可以存储在工具下 |
| MTM-20控制器： | 仅限MTM-20：可编程厚度端接功能，带终端接口电缆，108自动，208HR和DC-100 终端设备范围为0-999.9nm |
| MTM-10/20盒尺寸 | 210 x 160 x 77毫米（8.27英寸x 6.3英寸x 3.03英寸） |
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