赛默飞/FEI 专注于半导体测量的Themis SS / TEM
报价 ¥2000万 - 2500万
仪器对比
关注
透射电子显微镜
半导体的Themis SS / TEM
佳图像分辨率和高分析效率的完美结合
Themis SS / TEM是80-200kV扫描/透射电子显微镜（S / TEM），用于半导体器件的高速成像和分析。作为行业标准Themis系列的新成员，Themis S TEM继承了佳空间分辨率高效化学分析的独特组合。
半导体的Themis SS / TEM优势包括：
高分辨率和高通量分析的佳组合。镜头配置使此功能仅在Themis列上可用。它提供了佳的图像分辨率以及的EDS效率。
得信赖的测量精度。当测量不确定度≤2％时，关键尺寸测量是可信赖的，可重复的和一致的。
高的多功能性。光学，化学检测，宽间隙极靴和独特的应用软件的结合确保了平台涵盖的广泛应用。
快的数据记录时间
Themis SS / TEM通过结合使用压电平台和漂移校正框架积分（DCFI）来补偿快的数据采集时间，以补偿可能的样品漂移。这使得在样品加载后仅几分钟就可以在TEM和STEM模式下获取高质量的高分辨率图像。
优化生产力
为了优化生产率，Themis SS / TEM使用双线圈定焦镜来大程度地减少热漂移并大化系统吞吐量。当在模式之间切换时，例如从低倍率模式更改为特征搜索而从高倍率模式更改为成像时，这种设计消除了镜头中的热量变化。
特色文件
Themis S TEM数据表
Themis S TEM具有亚?分辨率，快的能量色散X射线光谱（EDS）收集能力，并能够灵活地应对其他关键的半导体用例，例如应变测量和低剂量，高对比度成像（iDPC） 。Themis S TEM解决了需要高通量，高质量和多功能性的材料分析实验室的需求，特别是在20nm以下技术节点工作的半导体故障分析实验室。
合作、共赢！
美国热电：直读光谱仪ARL8860、XRF、XRD;
ICP、电镜、电子能谱仪
德国徕卡：金相显微镜、体视显微镜、电镜制样设备
英斯特朗：疲劳试验机、万能试验机；
摆锤冲击试验机、落锤冲击试验机
东京精密：圆度仪、轮廓仪、粗糙度仪、三坐标
美国法如：激光跟踪仪、关节臂及扫描
日本奥林巴斯手持光谱仪 德国帕马斯颗粒计数器
租赁检测：便携式三坐标、激光跟踪仪、3D扫描仪
为客户提供专业的检测服务，帮客户挖掘新的赢利空间！
上海澳信检测技术有限公司
青岛澳信仪器有限公司
青岛澳信质量技术服务有限公司
联系地址：青岛市城阳区山河路702号
上海地址：上海浦东新区川沙路1098号
新美测（青岛）测试科技有限公司提供测试服务：静态力学测试主要包括拉伸、压缩、弯曲、剪切等；动态疲劳测试主要包括：拉拉疲劳、拉压疲劳、压压疲劳、裂纹扩展速率等
1年
是
有
安装后一年内免费培训两次
一年内免费维护保养
免费维修
一周内安排专家到厂
相关产品
