仪器对比
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场发射扫描电镜
台式/桌面型
冷场发射
进口
1.2 nm（15 kV）1.6 nm（1KV）
25-1000000X
0.1-30kV
2.5nm
仪器简介：
JIB-47000F是集成扫描电镜和聚焦离子束于一身高性能仪器。电子光学系统采用场发射电子枪，可以对进行实时研磨监控。该仪器又是一个微区观察、样品分析、微区研磨的集合体，应用范围广泛。
技术参数：
FIB 分辨率: 5nm, 30kV
SEM分辨率: 1.2 nm（15 kV）1.6 nm（1KV）
FIB束流：最大90nA
SEM束流：最大300nA
气体输入系统 x1-3
主要特点：
监控、切割、组装和三维图像重构连续操作
2大束流，最大90nA
3.提供空前稳定的图像
4.气体注入系统用于刻蚀和沉积
5.最大装样 150 mm
6.气锁式样品交换
7.五轴全对中样品台
8.多个样品分析接口9.三维图像、能谱、EBSD
365天
1年
安装调试现场免费培训
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