弗莱贝格XRD单晶定向仪——Omega/Theta XRD
报价 ¥80万 - 100万
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弗莱贝格XRD单晶定向仪能提供自动的晶格定位和样品校准的在线解决方案，我们专注于超高速和精确的Omega扫描方法，可在几秒钟内确定完整的晶体取向。可添加二维(X-Y)或三维扫描，全自动化的摇摆曲线测量，使得XRD单晶定向仪成为单晶制造商质量控制环节中一个重要组成部分。
应用范围▼
作为快速、简单、可靠的X射线单晶定向仪，弗莱贝格Omega/Theta XRD被广泛应用于工业生产的质量控制、材料研发等领域，主要用于超高速晶体定向和摇摆曲线的测量。
应用技术▼
l 可用于生产的立式XRD
l 转移技术：可高效率进行多个铸锭同时定向（堆叠）
l 同时测定（Si、Ge、BBO、YAG、SiC、GaN、蓝宝石、涡轮叶片等200多种晶体材料）几乎所有晶体方向取向。
l 快速测量晶体取向，测量时间仅需5秒，精度：0.003°
l 自动晶片分类和处理
l 摇摆曲线测量和3Dmapping绘图 晶圆表面翘曲度偏差检测
l 整块晶圆和涡轮叶片晶体取向mapping
l 设备操作简单、快捷、方便，适用于各研究机构和全自动化生产线
应用实例▼
案例1：
蓝宝石取向 mapping、摇摆曲线测量：窄反射峰=表面质量好
案例2：
SiC 取向 mapping、摇摆曲线测量：宽反射峰=晶体表面局部干扰
案例3：
碳化硅晶圆检测案例——晶体取向mapping
总倾斜偏差mapping
表面倾斜偏差mapping
垂直方向倾斜偏差mapping
水平倾斜偏差mapping
摇摆曲线mapping
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