高级型脉冲激光沉积系统 Pioneer 120 Advanced PLD
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最高850°C，辐射加热器，氧兼容
10mm x10mm到直径2英寸
产品简介
Pioneer 120 Advanced PLD System 是一个用于制备高质量的外延薄膜独立的系统、多层异质结构和各种材料的超晶格。这个PLD系统和the Pioneer 120 PLD System 的主要区别是衬底加热阶段。先锋120采用导电加热阶段，而Pioneer 120 Advanced PLD System 采用辐射加热阶段。加热器可兼容1大气压(760托)的氧气，这是一特性用于制备外延氧化膜，需要(i)沉积在氧气中，(ii)沉积后退火在氧气中，以及在接近1大气压的氧气中冷却。由于基底不与加热器直接连接，可以连续旋转360度。衬底也可以负载锁定。
这个脉冲激光沉积系统包括一个自动多目标转盘，带有目标旋转、目标光栅和软件控制的多层和超晶格沉积所需的目标选择。闭环压力控制提供了使用质量流量控制器的精确过程压力控制。干式泵是由机械隔膜泵或涡旋泵支持的涡轮分子泵组合而成。该系统软件(Windows 7, LabView 2013) 控制基材加热器、目标转盘、过程压力、系统泵和激光触发。由于衬底可以转移，可进行多种选择。这些包括但不限于将PLD系统与各种其他沉积平台(如超高真空溅踱系统)集成，也与超高真空分析系统(如XPS/ARPES等)集成。
产品特点
独立的交钥匙PLD系统。
外延薄膜、多层异质结构和超晶格的沉积。
利用原位RHEED诊断技术沉积纳米级薄膜。
氧化膜沉积的氧相容性。
升级:负载锁定，激光加热器，RF/DC溅射，组合PLD
与超高真空溅踱系统集成。
与XPS /ARPES超高真空集群工具集成。
技术指标
| 项目 | Pioneer240 | Pioneer180 | Pioneer120A |
| 最大wafer 直径 | 8” | 6” | 2” |
| 最大靶材数量 | 6 个1” 或3 个2” | 6 个1” 或3 个2” | 6 个1” 或3 个2” |
| 压力(Torr) * | 5*10-8 | 5*10-9 | 5*10-9 |
| 真空室直径 | 24” | 18” | 12” |
| 基片加热器 | 360°旋转 | 360°旋转 | 360°旋转 |
| 最高样品温度 | 850 ℃ | 850 ℃ | 950 ℃ |
| Turbo 泵抽速* （liters/sec） | 700 软件控制 | 400 软件控制 | 260 软件控制 |
| 计算机控制 | 包括 | 包括 | 包括 |
| 基片旋转 | 包括 | 包括 | 选件 |
| 基片预真空室 | 包括 | 选件 | 选件 |
| 扫描激光束系统 | 包括 | 选件 | - |
| 靶预真空室 | 包括 | 选件 | - |
| IBAD 离子束辅助沉积 | 选件 | 选件 | 选件 |
| CCS 连续组成扩展 | 选件 | 选件 | - |
| 高压RHEED | 选件 | 选件 | 选件 |
| 520 liters/sec 泵 | N/A | 选件 | - |
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