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全晶圆工业阴极荧光CL-SEM系统 Santis 300

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品牌

Attolight

型号

Santis 300

产地

欧洲瑞士

应用领域

暂无

进口

产品简介

Attolight定量CL-SEM系统提供 “不折不扣”大视场快速扫描的同时获取SEM图像、高光谱CL图像和光学光谱。较小直径的晶圆,或形状混杂的衬底被手动加载到300mm的中间感受器上,然后仪器自动处理。

Säntis 300全晶圆工业CL-SEM系统是全晶圆阴极发光显微镜,可以完全自动化控制150、200和300毫米晶圆。


优点及特点

1、控制可以达到300毫米的晶圆

2、高效的CL-SEM扫描成像效率

3、同时进行电镜成像和光学信号采集

4、边缘检测,晶圆准确定位(优于10µm)

5、对晶圆翘曲度自动映射和调整

6、Säntis 300系统提供3种不同的采集模式,为不同的需求和应用量身定制:

a、 面扫描模式(FWBrush模式)

b、线扫描模式(AWPix模式)

c、多点扫描模式

 

产品应用

工业市场应用:

1、GaN 及其应用:

 高强度LED要求高发射效率和高可靠性。以汽 车应用为例,LED故障影响安全,危及人身安 全;UVC LED 要求高的发射效率和高的发射均匀 性;LED故障会使人的生命处于危险之中,例如在灭菌和消毒应用中。

2、光子学:激光光子学

3、电力电子应用 GaN:电力电子应用需要更大的功率、更小和更轻 的包装,例如物联网或汽车应用

4、II-VI族材料:GaAs 及其应用: 太阳能, 电力电子;电力电子SiC ;µLED

其他应用举例:

1、微观结构发光二极管(MicroLed)

2、LED质量控制

3、GaN中的螺纹位错缺陷计数

4、碳化硅衬底质量控制


售后服务

90天

1年

安装调试现场免费培训

2天内

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