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单点少子寿命测试设备MDPspot-

报价 ¥100万 - 150万

品牌

弗莱贝格仪器

型号

MDPspot-

产地

欧洲德国

应用领域

暂无

进口

20ns到几十ms

500μm

小50×50 mm2 ,大12”或210×210mm2

0.2–>103 Ohm cm

硅,化合物半导体,氧化物,宽带隙材料,钙钛矿,外延层

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应用材料范围:

●  硅|化合物半导体|氧化物|宽带隙材料|钙钛矿|外延层

无接触且非破坏的少子寿命成像测试:(μPCD/MDP(QSS),光电导率,电阻率和p/n型检测。

●  符合半导体行业标准 SEMI PV9-1110

 

MDPspot单点少子寿命测试设备产品特性:

●  灵敏度: 对外延层监控和不可见缺陷的检测,具有可视化测试的高分辨率

●  寿命测试范围: 20 ns到几十ms

●  测试能力: 从切割的晶圆片到所有工艺中的样品

●  可靠性: 模块化紧凑型台式检测设备,正常运行时间> 99%

●  重复性: > 99.5%

●  灵活性: 适用于晶片和晶块,高度可进行调整

●  辅助功能: 基于IP的系统,允许在任何地方进行远程操作和技术支持

 

技术参数

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售后服务

1年

安装时现场培训

根据具体仪器型号确定

24小时内相应

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