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100ns-10ms
500μm
在125×125 到210×210mm2之间
0.2 – >103 Ohm cm
单晶，多晶硅锭
应用材料范围：
● 单晶或多晶硅锭
无接触且非破坏的少子寿命成像测试：(μPCD/MDP(QSS),光电导率，电阻率和p/n型检测。
● 符合半导体行业标准 SEMI PV9-1110
MDPinline ingot系统是全球范围内非常快的测量工具，可用于对多晶硅和类单晶硅锭进行电学表征。
专为高通量工厂中的单个晶锭测试而开发，每个晶锭都可在1分钟内完成所有面的电学参数表征测试参数包括1mm分辨率的少子寿命面扫描分布，电导类型分布图，以及电阻率线扫描分布图
MDPinline ingot在线硅锭成像设备优势介绍：
● MDPinline ingot对有高通量要求PV工厂里的多晶硅锭电学参数，具备最快的在线测试速度：在1分钟内可完成分辨率大于1mm的成像扫描测试，同时可完成电导类型转变的空间分布扫描和电阻率的线扫描测试。
● 客户制定的硅锭切割标准，可通过数据中心，对下一代PV工厂的材料制备进行全自动监控，完成对材料生长质量控制，坩埚状况监控，以及各种失效析。
● 通过特殊的“underneath the surface”测试技术，可有效减少由表面复合引起的数据失真情况出现。
● 对半导体材料电学参数进行非接触和非破坏性测试
● 对少子寿命参数可做面扫描测试
● 对不可见缺陷的可视化测试具有很高灵敏度
● 对铁浓度分布做面扫描
● 自动设置硅锭切割标准
● 对硅锭少子寿命的稳态测试，
● 可有效改善硅锭的性能
● 完全自动化的集成设计低成本测试
技术指标：
1年
否
有
安装时现场培训
无
根据具体仪器型号确定
24小时内相应
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