仪器对比
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特性
灵敏度：对外延工艺监控和不可见缺陷检测，具有可视化测试的高分辨率
测量速度：6英寸硅晶圆片，1mm分辨率 ，小于5分钟
寿命测试范围: 20纳秒到几十毫秒
沾污检测：源自坩埚和生长设备的金属(Fe)污染
测量能力：从初始切割的晶圆片到所有工艺加工的样品
灵活性：允许外部激光通过触发器，与探测模块耦合
可靠性： 模块化和紧凑台式仪器，更高可靠性，正常运行时间> 99%
重现性： > 99.5%
电阻率：无需时常校准的电阻率面扫描
用于研发或生产监控的灵活检测工具
MDPmap是一个紧凑的离线台式检测设备，对生产控制或研发进行无接触电学参数特性检测。可测量参数如载流子寿命、光电导性、电阻率、缺陷信息在稳态或注入范围宽短脉冲励磁(μ-PCD)。自动化的样品识别和参数设置可以方便地适应各种不同的样品，包括在不同的制备阶段，从生长的晶圆片到高达95%的金属化晶圆片的外延片和晶圆片。
MDPmap主要优点是其高度的灵活性，它允许集成最多4个激光器，用于从超低注入到高注入，对依赖于注入水平的少子寿命参数测量，或者使用不同的激光波长提取深度信息。包括偏置光设置以及μ-PCD或稳态注入条件选项。可以使用不同的图谱进行客户定义的计算，也可以导出原始数据进一步评估。对于标准计量任务，可用一个预定义的标准，使常规测量只需按一个按钮。
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少子寿命测试仪在半导体材料检测中的应用半导体 2020-07-14
1年
否
有
安装时现场培训
无
根据具体仪器型号确定
24小时内相应
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