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一、产品描述
【产品名称】1700℃CVD管式炉
【炉管尺寸】φ80mm
【加热区】300mm
【额定温度】1700℃
【电源电压】AC220V/50Hz
【控温精度】±1℃
【应用领域】化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。
二、产品特点
系列产品主要针对在真空或者保护气氛下对样品的热处理，优质的炉膛材料和稳定的温度控制系统，可保证实验数据的可靠性；产品采用新型陶瓷纤维材料作为炉膛材料，炉管材质优良，炉管两端不锈钢法兰密封，可在真空下工作，法兰上有进气口和出气口，可通入保护气体，精密针型阀可调节进气流量。
1、CVD管式炉系统由加热系统、真空获得系统和气路系统组成。
2、管式炉可选择不同的管径和恒温区的长度，炉管两端的不锈钢密封法兰也可选择高真空法兰和低真空法兰；
3、真空获得系统可根据试验要求选择不同的真空泵，旋片式机械真空泵真空度≤5pa，分子泵真空机组真空度1×10-4pa；
4、气路供气系统可选择3路浮子手动和3路自动质量流量系统。
5、真空测量用作数字复合真空机或皮拉尼真空计。
6、温控器内置的RS485数字通信端口和USB适配器作为可选配置，可连接PC，用于系统的远程控制和监视，还可以保存或导出测试结果。
7、产品符合欧盟CE标准。
三、技术参数
型号 | STGC-40-17 | STGC-60-17 | STGC-80-17 | STGC-100-17 |
炉管尺寸 | Φ40x 900mm | Φ60x 900mm | Φ80 x 900mm | Φ100x 900mm |
额定温度 | 1700℃ | |||
工作温度 | 1600℃ | |||
加热区尺寸 | 300mm | |||
电源电压 | 220V/3KW | 220V/4KW | 220V/5KW | 220V/5KW |
加热元件 | U型硅钼棒 | |||
炉膛材料 | 湿法真空抽滤成型制备的多晶无机氧化铝陶瓷纤维材料 | |||
炉管材料 | 高纯刚玉管 | |||
控温精度 | ±1℃ | |||
测温元件 | B型铂铑热电偶 | |||
温控仪表 | 智能微电脑PID温控仪表，SCR/SSR控制，PID参数自整定功能；可编程序30个时段，程序升温、程序保温、程序降温 | |||
升温速度 | 1-10℃/min自由调节 | |||
炉体结构 | 炉膛温控一体式结构；双层外壳，空气循环隔热 | |||
密封性能 | 炉管两端装有不锈钢金属法兰，配套高温 PTFE 垫圈，可在真空下进行工作， 真空度≤5pa（旋片式真空泵） | |||
气氛性能 | 法兰两端有进气口和出气口，压力表装在金属法兰上，精密针型阀可调节进气和出气量，可通入氮气、氩气、氢气等保护气体 | |||
设备保护 | 模块化控制，对工作过程中的超温、断偶会发出声光报警信号，并自动完成保护动作 | |||
人员保护 | 在设备上装有空开断路器，如发生短路漏电情况时会自动弹开，能保护设备和操作人员 | |||
外壳 | 优质冷轧钢板数控机床下料加工，经过焊接、打磨、抛光、磷化、酸洗、表面静电喷涂塑粉 | |||
质量认证 | ISO9001 CE SGS TUV | |||
标准配置 | 1、炉体1台 2、温度控制器1台 3、电源线3米 4、热电偶1支 5、说明书1份 6、炉钩1把 7、高温手套1双 8、管堵2个 9、密封法兰1套 | |||
选装配件 | 1、选配旋片式真空泵（真空度≤5pa） 2、选装数字真空计（1.0×105-1.0×10-1pa） 3、选装浮子流量计（量程60-600ml/min） 4、选配刚玉舟 | |||
1年
否
有
每年1次巡回免费培训
每年1次巡回保养指导
易损件除外质保一年
2小时作出回应，8小时内出解决方案，36小时内到达现场
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