KLA P-17 台阶仪 / 探针式轮廓仪

报价 ¥85万

品牌

KLA

型号

KLA P-17

产地

美洲美国

应用领域

暂无

探针式轮廓仪 / 台阶仪 / P-17 Stylus Profiler

 

产品描述

P-17是第八代台式探针轮廓仪,是40多年的表面量测经验的结晶。该系统领先业界,支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。

该系统结合了UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描平台,因而具备出色的测量稳定性。 通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能,程序设置简便快速。 P-17具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法,可以支持2D或3D测量。 并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。

主要功能

  • 台阶高度:几纳米至1000μm

  • 微力恒力控制:0.03至50mg

  • 样品全直径扫描,无需图像拼接

  • 视频:500万像素高分辨率彩色摄像机

  • 圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差

  • 软件:简单易用的软件界面

  • 生产能力:通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化

主要应用

  • 台阶高度:2D和3D台阶高度

  • 纹理:2D和3D粗糙度和波纹度

  • 形状:2D和3D翘曲和形状

  • 应力:2D和3D薄膜应力

  • 缺陷复检:2D和3D缺陷表面形貌

工业应用

  • 大学、研究实验室和研究所

  • 半导体和化合物半导体

  • LED:发光二极管

  • 太阳能

  • MEMS:微机电系统

  • 数据存储

  • 汽车

  • 医疗设备

  • 还有更多:请与我们联系以满足您的要求


售后服务

3年

免费的现场培训

自设备验收完毕,保修期内每年两次免费拜访;

如非用户原因发生设备故障或使用缺陷,卖方将免费提供维修和保养。

在用户报修后的在4小时内以邮件或电话回复响应,必要的话24小时内到达现场。

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