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NTT-AT X射线分辨率测试卡

报价 ¥15万

品牌

NTT-AT

型号

XRESO系列

产地

亚洲日本

应用领域

暂无

公司介绍:

来自日本的NTT-AT有着多年的X射线、极紫外光学配件的研发经验,通过与全球各大同步辐射,阿秒科学,高强度物理学等领域的科研学者紧密合作,积累了大量的客户群体,以雄厚的实力赢得了优秀的市场口碑,其独特的设计与制造技术在业内享有很高的评价。XUV镜片,XUV滤波片不仅对阿秒科学有着帮助,对下一代的光刻研究也有这重要作用。NTT-AT将在XUV,EUV,X射线领域给予客户在研发上最大的帮助。

产品介绍:

用于X射线分析的分辨率评估图的事实上的标准

优点

这款超精细、高分辨X射线测试卡作为NTT-AT的拳头产品,更是成为了行业标准、业界标杆,被广泛应用于X射线显微、X射线微束分析和X射线成像等需要超高分辨率的X射线分析应用。具有高耐X射线辐射、 超清晰图案和低边缘粗糙度等特点。基于SiC膜的Ta吸收体图样经验证结构非常准确,可以为您的X射线分析系统的评估带来非常清晰的图像。

您不尝试一下这事实上标准的性能吗?

特点:

有三种X射线图可应用于各种方面:标准型、高分辨率和高对比度型以及超高分辨率型。可为用户的系统定制图案布局和基板尺寸。

规格

项目标准型
XRESO-100
高分辨率型
带较厚Ta
吸收体
XRESO-50HC
新!!
超高分辨率
XRESO-20
基板材料、尺寸Si 10平方毫米
厚度1毫米1毫米0.625毫米
材料、
厚度
Ru 20纳米
SiN 2微米
Ru 20纳米
SiC 200纳米
SiN 50纳米
Ru 20纳米
SiC 200纳米
SiN 50纳米
区域1平方毫米1平方毫米1平方毫米
对齐基板中间基板中间基板中间
图案吸收体、
厚度
Ta 1微米Ta 500纳米Ta 100纳米
最小图案
尺寸
100纳米50纳米20纳米
放射形图案
图案区域250微米×350微米300平方微米300平方微米


image.png

X射线图(高分辨率图)的略图


恩梯梯尖端技术公司的已成为事实上标准的X射线分辨率评估图在世界上被用于企业、大学和研究所。

  • 超高分辨率型  XRESO-20

XRESO-20是具有20纳米最小图案宽度的超高分辨率评估图。2014年开始销售的此高规格型号最近被应用于超高分辨率X射线成像系统。

图的SEM图像图案布局
100纳米孔

image.png

①放射形图案

③④孔图案

⑤⑥⑦⑧L&S图案

image.png

50纳米孔
image.png
20纳米图案20纳米放射形图案
image.pngimage.png


  • 超高分辨率型  XRESO-20

XRESO-20是具有20纳米最小图案宽度的超高分辨率评估图。2014年开始销售的此高规格型号最近被应用于超高分辨率X射线成像系统。


图案布局
image.png
  • 带较厚吸收体的高分辨率型  XRESO-50HC

XRESO-50HC提供成本合理的50纳米高分辨率。其已被应用于X射线微光束辐射、X射线显微镜和X射线相干成像等各种用途。

图的SEM图像图案布局
放射形图案
相应于图案布局的点(1)
image.png

image.png

50纳米 L&S
相应于图案布局的点(2)
image.png



售后服务

1年

不限人次交货时现场培训

质保期内免费保养

质量保证期内提供保修(人为破坏因素、遇不可抗力或使用不当除外)

24小时内做出响应,提出解决方案,如有必要,48小时内上门

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发布心得活动

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NTT-AT X射线分辨率测试卡信息由北京众星联恒科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于NTT-AT X射线分辨率测试卡报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。

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