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· 从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机。
· RF为200W的高性能输出类型（PR210C）。
· 由于是尺寸紧凑的台式机，很小的位置都可以安装。
· 同步，自动调谐，操作简单（PR210C）。
· 等离子体反应器（灰化设备）（PR210C）。
【用途】①去除光刻胶 ②部品清洗 ③界面活性处理 ④微研磨 ⑤硅晶圆，玻璃基板对应
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