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· 大口径(Φ215mm)石英反应腔。
· 小型一体化设计。
· 操作简单的触摸屏方式(PR510型/1000型)。
【用途】①去除光刻胶 ②部品清洗 ③界面活性处理 ④微研磨 ⑤硅晶圆,玻璃基板对应
产品货期: 90天
整机质保期: 1年
培训服务: 额外提供免费培训
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