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一、简介
德国Edgewave公司是INNO-SLAB板条激光激光器技术的先驱和领导者。版条状增益介质既具备块状介质可以容纳大模场光斑、承受高能量高峰值功率脉冲的特征，由具备媲美光纤/碟片增益介质的热效应小的性能，故适合大能量、高功率脉冲激光器。Edgewave可提供DPSS的纳秒调Q激光器、锁模飞秒/皮秒激光器，功率可达千瓦量级，单脉冲能量可超过百毫焦。板条激光器的另一个独特优点是光斑分布可订制，例如高斯圆光斑、平顶方形光斑、条形光斑等。
二、特点
• 短脉宽和高峰值功率：产生的极其微小的热区域, 更适于高精度加工
• 近似理论值极限的高光束质量：更适合微加工
• 高功率和功率可提升：更高的生产效率
• 结构紧凑和性能稳定可靠：低运行成本
• 高效率：低能耗，利于环保
• 输出光斑分布的高灵活性：绿色加工和最大的能源效率
三、应用
• 光伏行业，例如硅晶园的划片、打孔和切割；薄膜太阳能电池和晶硅太阳能电池导电层和绝缘层的烧蚀
• 显示领域，如导电层的织构化和玻璃切割
• 玻璃工业，如微钻孔和高速亚表面内雕
• 电子工业，例如对印刷电路板的切割和钻孔
• 工具制造和机械工程，如三维烧蚀快速成形
• 汽车制造行业，如: 燃油喷嘴阀的制造
• 科研领域，如作为染料激光器、OPO以及Ti:宝石激光器的泵浦，粒子成像测速
四、型号及参数
1、 BX系列
型号 | BXxx-1 | BXxx-2 | BXxx-3 | BXxx-4 |
波长 | IR | Green | UV | DUV |
M2 | 1.1 | 1.1 | 1.6 | 2 |
最大平均功率 | 80W | 40W | 12W | 6W |
最大重复频率 | 100KHz | 100KHz | 10KHz | 10KHz |
最大脉冲能量 | 7mJ | 3mJ | 1.5mJ | 1mJ |
脉宽 | 1ns | 1ns | 1ns | 1ns |
能量稳定性 | 1% | 2% | 3% | 3% |
指向稳定性 | <50μrad | <50μrad | <50μrad | <50μrad |
2、 IS系列
型号 | ISxxx-1 | ISxxx-2 | ISxxx-3 | ISxxx-4 |
波长 | IR | Green | UV | DUV |
M2 | 1.1 | 1.1 | 1.6 | 2 |
最大平均功率 | 400W | 200W | 70W | 20W |
最大重复频率 | 150KHz | 150KHz | 15KHz | 15KHz |
最大脉冲能量 | 60mJ | 30mJ | 15mJ | 4mJ |
脉宽 | 1ns | 1ns | 1ns | 1ns |
能量稳定性 | 1% | 2% | 3% | 4% |
指向稳定性 | <50μrad | <60μrad | <50μrad | <50μrad |
3、 GX系列
型号 | GXxxx-1 | GXxxx-2 | GXxxx-3 | GXxxx-4 |
波长 | IR | Green | UV | DUV |
M2 | 1.1 | 1.1 | 1.5 | 2 |
最大平均功率 | 800W | 400W | 200W | 30W |
最大重复频率 | 100KHz | 100KHz | 100KHz | 20KHz |
最大脉冲能量 | 120mJ | 60mJ | 30mJ | 5mJ |
脉宽 | 1ns | 1ns | 1ns | 1ns |
能量稳定性 | 2% | 4% | 4% | 4% |
指向稳定性 | <50μrad | <60μrad | <50μrad | <50μrad |
五、应用示例
• 薄膜太阳能电池的结构化
• 太阳能电池清边
• 体硅太阳能硅片的结构化
• 玻璃钻孔
• 玻璃切割
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