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1.适用晶圆 晶圆尺寸: 4,6,8”
晶圆厚度: 100~1400μm(支持减薄到100um薄片工艺)
2.研磨方法 向下进给式研磨,测量厚度控制
3.操作方法 全自动、半自动、手动
产品货期: 365天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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Jansky
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