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设备功能：采用砂轮向下进给式磨削，用于精密减薄晶圆，尽量减少背面损伤层。设备为带安全防护的全封闭式设备，带排气通道。基本配置包括：主轴单元，工作台，测厚单元，修轮单元，Z轴，冷却水循环罐，控制安全单元。
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