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Nikon NSR 2005i9C
Nikon NSR 2005i9C步进式光刻机
光源波长365nm
分辨率优于0.45µm
用于2寸、4寸、6寸、8寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
光源波长365nm
分辨率优于0.45µm
用于2寸、4寸、6寸、8寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
产品详情
| 分辨率 | 0.45µm |
| N.A. | 0.57 |
| 曝光光源 | 365nm |
| 倍率 | 5:1 |
| 最大曝光现场 | 20mm*20mm |
| 对准精度 | LSA：120nm |
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提供中英文软件及2"、4"、6"、8"设备硅片改造
常年提供所有备件、耗材
更多型号设备，欢迎致电或继续浏览我们的网站！
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步进式光刻机信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于步进式光刻机报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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