仪器对比
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v XY方向扫描范围：90μm x 90μm(典型值)，85μm (最小值)
v Z 方向扫描范围：10μm (典型值)，9.5μm (最小值)
v 纵向噪音水平：30pm RMS值(在合适的环境下，典型的成像带宽最高可达625Hz)
v XY 方向闭环噪音水平：≤0.15nm RMS 值(典型的成像带宽条件最高可达 625Hz)
v Z方向闭环噪音水平：35pm RMS 值(在合适的环境下，典型的成像带宽最高可达 625Hz)；50pm RMS 值，力曲线带宽 (0.1Hz 到 5kHz)
v XYZ方向的非线性参数：<0.5%
v 样品尺寸和固定方式：210mm直径，真空吸附，≤15mm 厚
v 马达驱动样品台(X-Y 轴)：180mmx150mm 可观测区域；单向2um重复性；双向 3m 重复性
光学系统：5百万像素数字摄像头；180um 至1465um可视区域；数字化缩放，马达驱动聚焦
售后服务
60天
1年
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