v 基本原理:使用高能量密度和低脉冲持续时间的准分子激光器,在室温下解除晶圆与部件和玻璃载片的粘合连接。本工具既能处理200mm和300mm晶圆,也处理晶圆框架上的减薄晶圆与部件
v 加工尺寸:8inch、12inch
v 加工速度:1000mm/s
v 加工精度:±1μm
v 平台参数:行程300mm×300mm
v 重复定位精度:±0.001mm
v 激光器参数:紫外
v 稼动率:>0.98
v 重大故障间隙时间:>1000H
良率:≥99.5%
60天
1年
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