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国产
电容式
5Å
＜0.01Å（档位为13μm时）
- 150mm（6吋）,200mm（8吋）
- 50mm
- 55mm
- 中图仪器
- NS200
NS系列台阶仪测试薄膜厚度，可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。其采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。
工作原理
当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。
针对测量ITO导电薄膜的应用场景，CP200台阶仪提供如下便捷功能：
1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；
2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；
3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；
NS系列台阶仪测试薄膜厚度对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求，样品适应面广，数据复现性高、测量稳定、便捷、高效，是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。
典型应用
产品特性
1.出色的重复性和再现性，满足被测件测量精度要求
线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13um量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。
2.超微力恒力传感器：（1-50）mg可调
测力恒定可调，以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的精准接触式测量。
3.超平扫描平台
系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，提高扫描精度，真实反映工件微小形貌。
4.顶视光学导航系统，5MP超高分辨率彩色相机
5.全自动XY载物台， Z轴自动升降、360°全自动θ转台
6.强大的数据采集和分析系统
NS系列台阶仪测试薄膜厚度软件包含多个模块，为对不同被测件的高度测量及分析评价提供充分支持。
部分技术参数
| 型号 | NS200 |
| 测量技术 | 探针式表面轮廓测量技术 |
| 探针传感器 | 超低惯量，LVDC传感器 |
| 平台移动范围X/Y | 电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平) |
| 样品R-θ载物台 | 电动，360°连续旋转 |
| 单次扫描长度 | 55mm |
| 样品厚度 | 50mm |
| 载物台晶圆尺寸 | 150mm（6吋）,200mm（8吋） |
| 尺寸（L×W×H）mm | 640*626*534 |
| 重量 | 40kg |
| 仪器电源 | 100-240 VAC，50/60 Hz，200W |
使用环境
相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH
温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)
地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）
音频噪音：≤80dB
空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）
恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。
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