产品简介:
布鲁克DektakXT 台阶仪(探针式表面轮廓仪)设计创新,实现了更高的重复性和分辨率,垂直高度重复性高达5Å。这项测量性能的提高,达到了过去四十年 Dektak 体系技术创新的顶峰,更加稳固了其行业中的领先地位。实现了纳米尺度的表面轮廓测量,从而可以广泛的应用于微电子器件,半导体,电池,高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。
产品参数:
Dektak XT | |
测量技术 | 探针式表面轮廓测量技术(接触模式) |
测量范围 | 二维表面轮廓的测量 可选择 |
三维测量及数据分析 | |
样品观测 | 可选择放大倍数,视场(FOV)范围:1to4mm |
探针传感器 | 低惯量传感器 (LIS 3) |
探针作用力 | LIS 3 传感器中1到 15mg |
低作用力模式 | N-Lite+ 低作用力 0.03 到15mg |
探针选项 | 探针曲率半径 50nm to 25μm |
高径比针尖(HAR)10 μmx2 μm and 200 μmx20 μm;也可根据需求采用用户定制的针尖 | |
样品X/Y载物台 | 手动XY(4英寸):100mm*100 mm,可手动校平 |
马达X/Y(6英寸):150mm*150mm,可手动校平 | |
样品 R-θ 载物台 | 手动,360 度连续旋转 |
马达.360 度连续旋转 | |
计算机系统 | 64位多核并行处理器, Windows® 7.0 系统: 可选配 23 英寸平板显器 |
软件 | Vision64 操作分析软件; 应力测量软件;悬臂偏转测试软件; 选配:缝合软件;3D应力分析软件;3D 测量软件 |
隔振系统 | 多种隔振方案可供选择 |
扫描长度范围 | 55mm (2英寸) |
单次扫描数据采集点 | 最大 120,000 最 |
最大样品厚度 | 50mm (2英寸) |
最大晶片尺寸 | 200mm(8英寸) |
台阶高度重复性 | <5%Agrave;, 测量1 μm 台阶高度标准偏差 |
垂直方向扫描范围 | 1mm (0.039 英寸) |
垂直方向分辨率 | 最高分辨率可达 1 Agrave; (在 6.55 μm 测量范围内) |
输入功率 | 100-240 VAC.50-60Hz |
温度范围 | 可操作温度为20 到 25℃ (68 to 77F) |
湿度范围 | ≤80%,无凝结 |
系统尺寸和重量 | 455mm Wx 550mm Dx 370mm H(17.9in. Wx 22.6in. D x 14.5in.H) 34kg (75lbs.) |
隔离量:550mmLx585mmWx445mm H(21.6in.Lx23in. Wx 17.5in.H)21.7kg (48lbs.) |
产品特点:
提高操作的可重复性
使用单拱龙门结构比原先的悬臂梁设计更坚硬持久不易弯曲损坏,而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。同时,完善了仪器的智能化电子器件,提高了其工作性能的稳定性,降低温度变化对器件的影响,并且采用最先进的数据处理器。能够更稳定可靠地扫描高度小于10nm的台阶,获得其形貌特征。单拱龙门结构和智能器件的联用大大降低了基底噪音,增强了稳定性。
提高测量和数据分析速度
采用独特高速的直接驱动扫描样品台, 缩短了每次扫描的间隔时间,提高了进行大范围 3D 形貌表征或者表面长程应力扫描的扫描速度。在保证质量和重复性的前提下,可以将数据采集处理的速度提高40% 。另外, DektakXT 采 用 Bruker 具有 64 位数据采集同步分析的 Vision64,它可以提高大范围 3D 形貌图的高数据量处理速度,并且可以加快数据滤波和多次扫描数据库分析的速度。 Vision64 还具有最有效直观的用户界面,简化了实验操作设置,可以自动完成多扫描模式,使很多枯燥繁复的实验操作变得更快速简洁。
简便易行的实验操作系统
DektakXT 新颖的探针和部件自动对准装置,可以尽量避免用户在装针的过程中出现针尖损伤等意外。这一改进 使原来费时耗力的实验步骤变得简便易行。为尽可能满足所有应用的需求,布鲁克提供各种尺寸的标准探针和特制探针,其中包括专为深槽测量定制的高深宽比的探针。
完善的数据采集和分析系统
Vision64 提供了操作上最实用简洁的用户界面,具备智能板块,可视化的使用流程,以及各种参数的自助设定以满足用户的各种使用要求,快速简便的实现各种类型数据的采集和分析。数据获取后,软件的自动调平,台阶识别分析,以及数据分析模块的各种滤波功能等使得分析简便快捷。使用数据分析模块,不论是通过一个程式来处理单次扫描结果的标准分析,还是尝试使用多种滤波设置和计算,使用者都可以清晰地看到数据处理结果以及其他可用的分析手段。 Vision64 随时为用户提供系统状态的信息。比如,如下图所示,软件界面上显示了得到整幅 3D 形貌图像的过程, 同时可获得线性扫描的数据,可视化窗口还提供针尖在样品表面实时扫描的情况,以及完成整幅图像所需剩时。这一系列可视化的设置,帮助操作者迅速全面地得到所需的实验室数据。
1年
是
有
7. 免费培训至用户能完全独立操作,我方随机提供用户操作及维修手册1份,使用户能
3月1次
2. 产品整机免费保修期为壹年(耗材除外),负责终身维修。
在接到用户通知后立即响应。
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