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晶圆堆叠盒仓储拆包及分拣设备 (KAS-381)
性能规格 最大储量：87个晶圆堆叠盒(2175片晶圆) 处理速度：180 WPH以上 ISO Class 4洁净度(FS-209E Class 10)
设备特色
．市场唯一N2环境晶圆堆叠盒仓储与晶圆分拣整合设备
．全自动拆包晶圆堆叠盒，双线拆包，换盒无需等待
．对应所有晶圆堆叠盒 ，并可自动开上盖
．依制程Recipe需求，按照Wafer ID进行排序、分批、并批、或传到指定晶圆盒位置
．对应12吋晶圆
性能规格
．最大储量：87个晶圆堆叠盒(2175片晶圆)
．处理速度：180 WPH以上
．ISO Class 4洁净度(FS-209E Class 10)
晶圆堆叠盒仓储拆包及分拣设备 (KAS-382)
性能规格
．最大储量：8个独立N2晶圆堆叠盒储位
．处理速度：180 WPH以上
．ISO Class 4洁净度(FS-209E Class 10)
晶圆堆叠盒包装拆包及分拣设备 (KAP-541)
设备特色
．市场唯一晶圆堆叠盒包装、拆包及晶圆分拣整合设备
．全自动包装与拆包晶圆堆叠盒，双线包装及拆包，换盒无需等待
．对应所有晶圆堆叠盒 ，并可自动开阖上盖
．依制程Recipe需求，按照Wafer ID进行排序、分批、并批、或传到指定晶圆盒位置
．兼容8吋、12吋、薄化晶圆
性能规格
．处理速度：180 WPH以上
．ISO Class 4洁净度(FS-209E Class 10)
1年
否
无
1次免费培训
可协商
保内免费维修
3个工作日
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