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阿米精控音圈电机驱动三自由度晶圆调节平台，通过三轴音圈电机并联运动实现Z轴直线运动和θx/θy轴旋转运动。系统有效发挥了音圈电机高带宽、高精度和高动态的直驱作动优势，并配合NPC031音圈电机专用运动控制器内嵌的运动算法和软件，可以实现单轴直线运动、两轴线性插补、两轴圆弧插补、任意圆心旋转等复杂轨迹运动，并满足晶圆台在不同应用场景的定位、对准、扫描、轨迹跟踪的各类高精度、高动态和高可靠性运动需求。该系统可用于半导体设备、光学制造、激光加工等诸多产业领域。
性能参数：
· Z向行程：3mm
· Rx/Ry行程：±12.5mrad
· Z向重复定位精度：14.9nm
· Rx重复定位精度：12.2μrad
· Ry重复定位精度：15.1μrad
· 负载:1kg
· 整定时间:≤100ms
平台特点：
· 机械设计紧凑：在紧凑空间中实现三自由度 (Z, Rx, Ry) 运动
· 动态性能优秀：快速定位与对准、高速扫描和轨迹跟踪、宽频域扰动抑制与防抖等
· 可内置真空气路以及真空阀供真空卡盘使用
· 中空结构设计,可作为光学式检测或导通测试等运动模组使用
应用场景：
半导体：晶圆检测与量测、硅片对准与定位、半导体封装、芯片与器件测试等
主动光学：超分辨成像、电子显微成像、大视场成像、光学对准与操作等
精密制造：激光加工、增材制造、光学加工、MEMS制造与检测等
60天
1年
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是
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1年
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