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1. 产品概述：
GENxplor® R&D MBE系统获得了化合物半导体制造的CSindustry奖，采用Veeco成熟的3英寸生长室设计，并具有工艺灵活性，非常适合UV LED、高效太阳能电池和高温超导体等新兴技术的材料研究。其高效的单框架设计将所有真空硬件与机载电子设备相结合，使其比其他 MBE 系统小 40%，从而节省宝贵的实验室空间。由于手动系统集成在一个框架上，因此减少了安装时间。GENxplor的开放式架构设计还提高了易用性，提供了对积液池的便捷访问，并且与其他MBE系统相比，更容易进行维护。
直径达 3 英寸的衬底上的高质量外延层
电子束温度加热器（>1850°C）
单帧架构提高了易用性，提供了便捷的源访问和增强的可服务性
高效的一体化设计将手动系统与机载电子设备相结合，与其他 MBE 系统相比，可节省 40% 的实验室空间
非常适合对各种材料进行前沿研究，包括砷化镓、氮化物和氧化物
Molly® 软件集成了简单的配方编写、自动生长控制和始终在线的数据记录
可选的 Nova™ 超高温基板加热器，可在 1850° 下提供经过验证的性能
可直接扩展到 GEN20™、GEN200® 和 GEN2000® MBE 系统
售后服务
60天
1年
安装调试现场免费培训
MBE分子束外延系统信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于MBE分子束外延系统报价、型号、参数等信息，深圳市矢量科学仪器有限公司客服电话：400-860-5168转5919，欢迎来电或留言咨询。
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