仪器对比
关注
1. 产品概述
Savannah®配备了高速气动脉冲阀，以实现我们独特的曝光模式™，用于在超高宽宽比基板上沉积薄膜。这种经过验证的精密薄膜镀膜方法可用于在纵横比大于 2000：1 >基板上沉积保形、均匀的薄膜。Savannah® 提供三种配置：S100、S200 和 S300。Savannah® 能够容纳不同尺寸的基材（S300 可达 300 毫米）。Savannah®薄膜沉积系统配备了加热的驱体线，并可选择添加多达六条线。Savannah® 能够处理气体、液体或固体体。
Veeco 是全球先的原子层沉积 （ALD） 系统供应商，为研究和工业提供全面的服务和多功能的交钥匙系统，这些系统易于访问、经济实惠且精确到原子尺度。薄膜沉积是我们的长。我们的 Savannah® 系列薄膜沉积工具就是这些能力的例证。Savannah® 已成为全球从事原子层沉积 （ALD） 的大学研究人员的选系统，他们正在寻找经济实惠且强大的平台。在过去十年中，我们已经交付了数百个这样的系统。Savannah®对驱体的高效利用和节能特性大大降低了薄膜沉积系统的运行成本。
2. 主要功能包括
原位椭圆偏振仪
原位质量控制
自组装单层膜
2循环时间
综合臭氧
低蒸气压沉积
批处理
手套箱集成
售后服务
60天
1年
安装调试现场免费培训
原子层沉积ALD信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于原子层沉积ALD报价、型号、参数等信息，深圳市矢量科学仪器有限公司客服电话：400-860-5168转5919，欢迎来电或留言咨询。
相关产品
