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1. 产品概述：
Veeco 的 GEN20™ MBE 系统是一种超灵活的工具，其设计可针对 III-V 族和新兴材料进行配置，包括需要集成电子束技术的应用。该系统采用生产设计技术，允许可选的集群工具晶圆传输系统，以实现理想的实验室到晶圆厂迁移。
材料研究和预生产环境的理想选择
垂直源到基板方向，具有 12 个 MBE 源端口和添加电子束功能的选项
手动或自动晶圆转移选项可配置的低温板、机械手、百叶窗和原位监测设备
模块化设计允许多两个增长模块
Veeco 的 GEN20™ MBE 系统是一种超灵活的工具，其设计可针对 III-V 族和新兴材料进行配置，包括需要集成电子束技术的应用。该系统采用生产设计技术，允许可选的集群工具晶圆传输系统，以实现理想的实验室到晶圆厂迁移。
售后服务
60天
1年
安装调试现场免费培训
分子束外延MBE信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于分子束外延MBE报价、型号、参数等信息，深圳市矢量科学仪器有限公司客服电话：400-860-5168转5919，欢迎来电或留言咨询。
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