1. 产品概述:
单腔立式甩干机是一种用于实现物料高效脱水的设备。其通过特定的机械结构和工作原理,能快速将物料中的水分分离出去,达到甩干的目的。
2. 设备应用:
o 半导体行业:在半导体制造过程中,可用于晶圆等半导体材料的清洗后脱水,确保晶圆表面干燥,避免水分残留对后续工艺产生影响,例如在光刻、镀膜等工序前,保证晶圆的洁净度和干燥度,有助于提高半导体产品的质量和性能 1。
o 电子元件制造:对电子元件进行清洗后的脱水处理,能有效去除元件表面的水分,防止水分对元件的性能和可靠性造成损害,如在印刷电路板(PCB)制造中,可使清洗后的 PCB 快速干燥,为后续的焊接、组装等工序提供良好条件。
3. 设备特点:
优点:清洗系统应用于各种清洗和干燥工艺。不同配置(可放置台面操作的设备、单腔单立、双腔);适用于晶圆尺寸200mm;佳的占地,设备带有滚轮可移动;可靠性;模块化结构;其便于维修;易于使用和操作。
一般特征:适用于晶圆直径至200mm;25片晶圆单盒工艺;标准的高边和低边花篮;可选内置电阻率检测传感器来控制晶圆的清洗工艺;用冷或热的N2辅助晶圆干燥;离心头容易更换。
去静电装置安装于工艺腔室区:去离子水回收;去阻率检测装置;机械手自动加载;可放置台面操作的设备、单腔单立、双腔;去离子水加热系统;底座置放不锈钢滚轮;溶剂灭火装置;适用特殊设计的花篮。
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