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- ≤2um
- 20 KN~200 KN
- 250℃~550℃
- 6寸，8寸，12寸
iAB系列产品是星空科技自主研发的自动晶圆键合设备，能够实现晶圆与晶圆自动键合。设备 采用了一体式设计，无需键合夹具，具有键合精度高、良率高的优势。
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1年
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