型号: | prepFAST SF |
产地: | 美国 |
品牌: | ESI |
评分: |
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prepFAST SF
超纯化学品全自动在线稀释系统 (半导体应用)
prepFAST SF彻底改变了使用ICP-MS检测分析超纯半导体级化学品的方式。prepFAST SF利用UPW、半导体级酸和标准溶液的注射器驱动流,实现样品稀释和标准曲线生成的自动化。prepFAST SF消除了对样本的手动处理,从而提供了低于ppt检测极限的功能。
prepFAST SF 自动校准
prepFAST SF自动为半导体制造过程中控制的40多种元素准备校准曲线。
校准是通过自动稀释封闭储备的多元素标准品而产生的。
高纯度prepFAST SF的自动化实现了低ppt到亚ppt 的校准。
具有PPT/PPQ结果的高纯自动化
自动化
• 外部标样自动标定标准曲线法和自动标准加入法 (MSA)
• 自动化样品处理
-计算粘性并自动调整时间
-检测并注入样品,触发启动ICP-MS
• 自动注射器驱动样品导入
-样品装载
-样品制备
-在线稀释
-加酸
超洁净
• 超洁净样品制备
• 一体化超清洁样品环境
• 超清洁荧光自动进样器和空气淋浴器
- 选项包括:
• ULPA (超净空气) 过滤器
• PFA 容器的样品架 (<1 mL to 500 mL)
• 连续流动的高纯度UPW冲洗液(用户提供UPW)
• 适用于低背景的UPW抛光柱
PPT/PPQ 结果
• 能够分析所有半导体级化学品
• 所有半导体元件的PPT/PPQ检测限值
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