prepFAST SF 超纯化学品全自动在线稀释系统 (半导体应用)
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prepFAST SF 超纯化学品全自动在线稀释系统 (半导体应用)

参考价:面议
型号: prepFAST SF
产地: 美国
品牌: ESI
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prepFAST SF

超纯化学品全自动在线稀释系统 (半导体应用)


prepFAST SF彻底改变了使用ICP-MS检测分析超纯半导体级化学品的方式。prepFAST SF利用UPW、半导体级酸和标准溶液的注射器驱动流,实现样品稀释和标准曲线生成的自动化。prepFAST SF消除了对样本的手动处理,从而提供了低于ppt检测极限的功能。

 

prepFAST SF 自动校准


prepFAST SF自动为半导体制造过程中控制的40多种元素准备校准曲线。

校准是通过自动稀释封闭储备的多元素标准品而产生的。

高纯度prepFAST SF的自动化实现了低ppt到亚ppt 的校准。


具有PPT/PPQ结果的高纯自动化


自动化

• 外部标样自动标定标准曲线法和自动标准加入法 (MSA) 

自动化样品处理 

-计算粘性并自动调整时间

-检测并注入样品,触发启动ICP-MS

• 自动注射器驱动样品导入 

-样品装载

-样品制备

-在线稀释

-加酸

超洁净

• 超洁净样品制备

• 一体化超清洁样品环境

• 超清洁荧光自动进样器和空气淋浴器

  - 选项包括:

• ULPA (超净空气) 过滤器

• PFA 容器的样品架 (<1 mL to 500 mL)

• 连续流动的高纯度UPW冲洗液(用户提供UPW)

适用于低背景的UPW抛光柱

PPT/PPQ 结果 

能够分析所有半导体级化学品 

所有半导体元件的PPT/PPQ检测限值


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